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高純氦氣低溫純化器要件的設(shè)計(jì)優(yōu)化
高純氦氣低溫純化器要件的設(shè)計(jì)優(yōu)化。出液空分離筒的原料高純氦氣在進(jìn)入浸泡在LN2中的活性炭吸附器時(shí),經(jīng)低溫吸附除去剩余的雜質(zhì),完成對(duì)原料高純氦氣的提純。
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